项目详情

中国科学院上海微系统与信息技术研究所感应耦合等离子化学气相沉积系统位于上海市，属政府采购类，采购人为中国科学院上海微系统与信息技术研究所，中标人为SENTECH Instruments GmbH，中标金额 319.90万，首次公告 2026-07-07。以下为该项目各阶段公告，均整理自公共资源交易平台公开发布的原文。

采购人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所　 代理机构：上海中招招标有限公司　 中标人：SENTECH Instruments GmbH

中国科学院上海微系统与信息技术研究所感应耦合等离子化学气相沉积系统相关公告