项目详情

中国科学院上海微系统与信息技术研究所晶圆清洗机位于上海市，属政府采购类，采购人为中国科学院上海微系统与信息技术研究所，中标人为沈阳芯源微电子设备股份有限公司，中标金额 650.00万，首次公告 2026-07-21。以下为该项目各阶段公告，均整理自公共资源交易平台公开发布的原文。

采购人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所　 代理机构：上海中招招标有限公司　 中标人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司

中国科学院上海微系统与信息技术研究所晶圆清洗机相关公告