项目详情

中国科学院上海技术物理研究所低温超深宽比反应离子刻蚀系统采购项目位于上海市，属政府采购类，采购人为中国科学院上海技术物理研究所，预算 586.00万，首次公告 2026-07-08，最新公告 2026-07-29。以下为该项目各阶段公告，均整理自公共资源交易平台公开发布的原文。

采购人：中国科学院上海技术物理研究所　 代理机构：东方国际招标有限责任公司

中国科学院上海技术物理研究所低温超深宽比反应离子刻蚀系统采购项目相关公告