项目详情

中国科学院上海微系统与信息技术研究所晶圆涂胶显影机位于上海市，属政府采购类，采购人为中国科学院上海微系统与信息技术研究所，预算 600.00万，中标人为沈阳芯源微电子设备股份有限公司，中标金额 450.00万，首次公告 2026-07-08，最新公告 2026-07-31。以下为该项目各阶段公告，均整理自公共资源交易平台公开发布的原文。

采购人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所　 代理机构：上海中招招标有限公司　 中标人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司

中国科学院上海微系统与信息技术研究所晶圆涂胶显影机相关公告