项目详情

中国科学院光电技术研究所12英寸微纳结构刻蚀系统位于成都市，属政府采购类，采购人为中国科学院光电技术研究所，首次公告 2026-08-14。以下为该项目各阶段公告，均整理自公共资源交易平台公开发布的原文。

采购人：中国科学院光电技术研究所

中国科学院光电技术研究所12英寸微纳结构刻蚀系统相关公告