项目详情

中国科学院半导体研究所等离子体增强原子层沉积设备采购项目位于北京市，属政府采购类，采购人为中国科学院半导体研究所，预算 443.00万，首次公告 2026-08-13。以下为该项目各阶段公告，均整理自公共资源交易平台公开发布的原文。

采购人：中国科学院半导体研究所　 代理机构：东方国际招标有限责任公司

中国科学院半导体研究所等离子体增强原子层沉积设备采购项目相关公告