项目详情

清华大学高密度等离子体化学气相沉积系统（HDPCVD）采购项目位于北京市，属政府采购类，采购人为清华大学，预算 2400.00万，首次公告 2026-07-27。以下为该项目各阶段公告，均整理自公共资源交易平台公开发布的原文。

采购人：清华大学　 代理机构：华诚博远工程咨询有限公司

清华大学高密度等离子体化学气相沉积系统（HDPCVD）采购项目相关公告